精度     高度重現性 •

校正標的 (at 3σ) < 1% on TRI certification target • 錫點 GR & R (± 50% Tolerance) << 10% at 6σ

速度 •

10 μm 最高可達 90 cm2 /sec • 15 μm 最高可達 200 cm2 /sec 使用動態影像技術與彩色LED光源獲取定位點